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原裝HORIBA堀場 微流質(zhì)量流量模塊 D700UF 從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保證高精度 ±1.0% SP（設定點） 1秒內(nèi)高速響應 全量程（T98） 尺寸緊湊， 面間距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃氣面板。 采用超潔凈兼容 氣體接觸部分，全不銹鋼結(jié)構，標準內(nèi)部拋光處理。