近期我司新品發(fā)布ULVAC殘余氣體分析儀CGM2-051
近期我司新品發(fā)布ULVAC殘余氣體分析儀CGM2-051
發(fā)布日期
2025年12月29日



ULVAC殘余氣體分析儀CGM2-051產(chǎn)品介紹

一、產(chǎn)品概述

CGM2-051是ULVAC推出的一款?高精度、易用型殘余氣體分析儀?，專為真空工藝中的氣體監(jiān)測和過程控制設(shè)計(jì)。它繼承了ULVAC在真空技術(shù)領(lǐng)域的深厚積累，特別適合需要高精度氣體分析的工業(yè)場景，比如半導(dǎo)體制造、光伏和真空鍍膜等。

二、核心特點(diǎn)

1. ?高精度與高分辨率?
   這款分析儀在高壓環(huán)境下依然能保持出色的精度和分辨率，能準(zhǔn)確檢測到痕量氣體成分，比如H2O等雜質(zhì)，非常適合對氣體純度要求工藝過程。

2. ?極簡設(shè)計(jì)與易用性?
   CGM2-051采用了極簡設(shè)計(jì)，操作非常友好，甚至支持“一鍵式"功能，大大降低了使用門檻。它還集成了顯示功能，不需要外接PC就能完成大部分操作，非常方便。

3. ?高溫烘烤與脫氣功能?
   設(shè)備支持120°C的高溫烘烤（移除傳感器時(shí)可達(dá)250°C），能有效去除傳感器表面的污染物，保持長期穩(wěn)定性。它還具備電子轟擊脫氣功能，進(jìn)一步提升了分析的可靠性。

4. ?全面的保護(hù)與維護(hù)?
   它內(nèi)置了離子源和二次電子倍增器的保護(hù)機(jī)制，能有效延長設(shè)備壽命。此外，還提供了氦氣泄漏測試、空氣泄漏測試等多種測試功能，方便用戶進(jìn)行日常維護(hù)。

三、典型應(yīng)用場景

1. ?半導(dǎo)體制造?
   在PVD（物理氣相沉積）系統(tǒng)中，CGM2-051能實(shí)時(shí)監(jiān)測殘余氣體，幫助控制雜質(zhì)（如H2O）含量，提升工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。

2. ?光伏與FPD行業(yè)?
   在薄膜太陽能電池和平板顯示器的生產(chǎn)過程中，它可用于過程監(jiān)控和泄漏檢測，確保生產(chǎn)環(huán)境符合高潔凈度要求。

3. ?真空鍍膜?
   在濺射、蒸鍍等真空鍍膜工藝中，CGM2-051能精準(zhǔn)分析工藝氣體，優(yōu)化鍍膜質(zhì)量，減少缺陷。

四、總結(jié)

CGM2-051是一款?高精度、易操作、高可靠性?的殘余氣體分析儀，特別適合對氣體分析要求嚴(yán)苛的工業(yè)領(lǐng)域。它的極簡設(shè)計(jì)、高溫烘烤和全面保護(hù)功能，讓它成為工藝控制和過程優(yōu)化的得力助手。